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中圖儀器二維輪廓測量儀集成表面粗糙度和輪廓測量的測量功能，它采用超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動電機、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級精度測量從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SJ5780接觸式輪廓測量儀測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題?？梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、

中圖儀器3D輪廓光學(xué)測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。

中圖儀器粗糙度輪廓儀檢測設(shè)備是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時具備軸承輪廓度評價功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。